En annan är gasens fas - fasmetod, kemisk ångavsättning (CAV) -metod, även känd som pyrolysmetod, torrmetod eller förbränningsmetod. Dess råvaror är i allmänhet kiseltetraklorid, syre (eller luft) och väte, som reagerar vid höga temperaturer.
The reaction equation is: SiCl4+2H2+O2 - >Sio 2+4 hcl. Luft och väte underkastas respektive tryckning, separering, kylning och uttorkning, kiseldioxidtorkning, dammborttagning och filtrering innan den skickas in i den syntetiska hydrolysugnen. Efter att råmaterialet från kiseltetraklorid skickas till destillationskolonnen för destillation upphettas och indunstas i förångaren och skickas sedan till den syntetiska hydrolysugnen med torr och filtrerad luft som bärare. Kisel tetraklorid förångas vid höga temperaturer (flamtemperatur 1000 - 1800 grader) och genomgår sedan gas - fashydrolys med en viss mängd väte och syre (eller luft) vid cirka 1800 grader. Vid denna tidpunkt är gasfas-kiseldioxidpartiklarna extremt fina och bildar aerosoler med gaser, vilket är svåra att fånga.
Därför aggregeras de först i större partiklar i en aggregator, sedan samlas in av en cyklonavskiljare och skickas till en deacidifieringsugn. Gasen - -faskiseldioxid tvättas med kväve - som innehåller luft tills pH -värdet är 4 till 6, vilket är den färdiga produkten